测量环境中的臭氧浓度,检测环境臭氧是否超标,臭氧浓度高于一定值时是有毒和腐蚀性气体。2000型臭氧分析仪是监测气体发生设备、气柜、气体输送系统以及半导体设备的臭氧浓度的理想选择。
 |
主要特点:
l 微机控制 l 紫外吸收技术 l 最多可接入5个取样点 l 内置现场编程,可编取样次序 l 每通道4-20mA隔离输出 l 每通道双报警 l 高稳定光学系统 |
主要技术参数:
取样点数量 |
1,3或5个内置式多通道阀 |
量程 |
0-1ppm,0-10ppm,0-100ppm,0-1,000ppm或0-10,000ppm等单一量程可选 |
分辨率 |
0.001ppm(0-1ppm或0-10ppm),0.01ppm(0-100ppm量程),0.1ppm(0-1,000ppm量程),1ppm(0-10,000ppm) |
线性度 |
在全量程上优于99% |
零点漂移 |
单路无,数字自动归零;多路:0.005ppm每月 |
环境操作条件 |
5-45℃,0-95RH 非冷凝 |
高浓度臭氧分析仪——Model Mini-Hicon
应用
臭氧发生器出口的浓度测量 半导体元器件和芯片制造 水处理应用 超纯水系统 科学研究 医药、生物技术
主要规格
量程:0 到400 g/m3,0 到26 % w/w (其它量程可选) 单位:g/m3,g/Nm3和% w/w 重复性:0.5 g/m3 或1% 的读数, 包括零点漂移 (可提供更高精度) 分辨率:0.1 g/m3 ;0.01 % w/w 模拟输出:4-20mA
| |